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半導體行業(yè)過程氣體分析解決方案

方案概述

氣體純度和凈度的加持

電子特氣的品質(zhì)主要取決于其純度和凈度,一旦純度或凈度不達標,輕則使下游產(chǎn)品質(zhì)量不過關(guān),重則擴散污染整條產(chǎn)品線,造成嚴重浪費。為了保證產(chǎn)品的合格率,避免經(jīng)濟損失,半導體制造商會對氣體供應商提供的氣體純度做出嚴格要求,通過使用多種氣體純化技術(shù)并實時連續(xù)監(jiān)測氣體純度,以確保輸送到制造全過程的超純氣體的質(zhì)量。

雪迪龍為半導體制造商提供過程氣體分析一站式解決方案,在電子特氣進入硅晶圓制造工藝之前,就開啟連續(xù)監(jiān)測,并通過自主研發(fā)的軟件包實時分析和反饋,滿足對晶圓制造過程中各種氣體及雜質(zhì)進行在線實時監(jiān)測的需求。

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